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日本toyokokagaku高靈敏度緊湊質(zhì)譜儀分析儀

日本toyokokagaku高靈敏度緊湊質(zhì)譜儀分析儀 ASTON Impact

“ASTON Impact"是一款適用于氣體分析的過程氣體監(jiān)測的高靈敏度質(zhì)譜儀。
這是一款追求性價比和易用性的電子電離離子源型號。
它節(jié)省空間并允許您監(jiān)測大氣壓區(qū)域的氣體。

  • 產(chǎn)品型號:ASTON Impact
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-11
  • 訪  問  量:906
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詳細(xì)介紹

日本toyokokagaku高靈敏度緊湊質(zhì)譜儀分析儀 ASTON Impact 特點介紹


“ASTON Impact"是一款適用于氣體分析的過程氣體監(jiān)測的高靈敏度質(zhì)譜儀。

這是一款追求性價比和易用性的電子電離離子源型號。

它節(jié)省空間并允許您監(jiān)測大氣壓區(qū)域的氣體。


雖然體積小,但質(zhì)量范圍擴(kuò)展至m/z285,作為過程氣體監(jiān)測用質(zhì)譜儀,成功實現(xiàn)了超越其他公司的高靈敏度測量。

它采用節(jié)省空間的設(shè)計,包括配備電子電離源和二次電子倍增器的小型四極傳感器以及泵。


日本toyokokagaku高靈敏度緊湊質(zhì)譜儀分析儀 ASTON Impact 規(guī)格參數(shù)


替代使用氦 (He) 載體的分析儀,例如氣相色譜儀

FT-IR 分析儀的替代品

用于連續(xù)分析廢氣以回收二氧化碳 (CO 2 )

測量廢氣中氫氣(H 2 )和其他氣體的濃度

半導(dǎo)體設(shè)備的氣體測量

CVD 清洗終點

蝕刻端點

薄膜沉積工藝條件測量

用于干泵維護(hù)和安全保證的氣體測量

發(fā)酵過程中產(chǎn)生的氣體(乙醇等)的監(jiān)測和測量

NMP監(jiān)測測量

冷凍干燥過程中的殘余水分管理測量

廢氣管理測量

檢測各種氣體泄漏的測量

1.首先

化學(xué)氣相沉積(CVD)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工藝中。它包括許多形成氧化膜和金屬膜的步驟。

在 CVD 中,固體沉積物在腔室內(nèi)壁上的積累以及由此產(chǎn)生的顆粒對工藝產(chǎn)生重大影響。

因此,根據(jù)成膜頻率需要進(jìn)行腔室清潔。

通常,腔室清潔是通過考慮終點的經(jīng)過時間來控制的。

2.測試方法

1. 用不銹鋼管將閥門和 ASTON Impact 連接到 CVD 設(shè)備。

2. 開始清潔過程并開始測量 ASTON Impact。

3. 監(jiān)測反應(yīng)產(chǎn)物和清潔氣體的趨勢。


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