日本toko-valex超低溫用調(diào)節(jié)閥真空控制液氦 T-8810 特點(diǎn)介紹

是用于控制液氦等接近于絕對零度的超低溫流體的調(diào)節(jié)閥。 

其特征在于，采用將閥門焊接于真空容器上的結(jié)構(gòu)。

該閥門內(nèi)件采用了用于低溫運(yùn)轉(zhuǎn)的帶咬合結(jié)構(gòu)，能夠防止熱振動(dòng)以及避免因熱變動(dòng)而導(dǎo)致配管發(fā)生偏斜。

從手機(jī)到電腦、汽車，半導(dǎo)體是現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品的主角之一。

在半導(dǎo)體行業(yè)中，是以單晶硅制造成套設(shè)備及日光發(fā)電晶圓制造成套設(shè)備、蝕刻及清洗用氣體制造成套設(shè)備、超純水設(shè)備為核心，運(yùn)用我公司產(chǎn)品。

尤其是蝕刻及清潔用氣體，由于包含毒性流體，所以大量采用了帶有膜盒的控制閥。

日本toko-valex超低溫用調(diào)節(jié)閥真空控制液氦 T-8810 規(guī)格參數(shù)

型號T-8810 

型號超低溫用調(diào)節(jié)閥 

連接差込溶接?突合せ溶接 

公稱直徑（A）6～50 

額定Cv值0.01～48 

主體材料SUS316L 

閥蓋材料SUS316L 

延長管材料SUS316L 

內(nèi)件材料SUS316L 

墊圈材料鋸齒形金屬墊圈 

流量特性等百分比（范圍度 50:1）、線性

快速打開（開閉） 

可配備的驅(qū)動(dòng)部分隔膜電機(jī)：T-5系列、空氣式氣缸、電子式：MSP/PSN系列、電動(dòng)式：CMS系列 

選配件氦氣泄漏試驗(yàn)、真空套管、熱錨 

內(nèi)件形狀：PCTFE盤

內(nèi)件附加處理：鎢鉻鈷合金硬化處理