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日本e-yamato調(diào)節(jié)器高純氣體用調(diào)壓閥分析器

日本e-yamato調(diào)節(jié)器高純氣體用調(diào)壓閥分析器 SR-3LL/SR-3.5LL

高純度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應(yīng)。
SR-1HLVI具有特殊結(jié)構(gòu),即使從調(diào)節(jié)器出口抽真空,二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。
即使進(jìn)行抽真空,氣體也不會從入口側(cè)(一次側(cè))流動。

  • 產(chǎn)品型號:SR-3LL/SR-3.5LL
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-09
  • 訪  問  量:156
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詳細(xì)介紹

日本e-yamato調(diào)節(jié)器高純氣體用調(diào)壓閥分析器 SR-3LL/SR-3.5LL 特點(diǎn)介紹


高純度氣體(純度99.999~99.99999%)和腐蝕性氣體的供應(yīng)。

SR-1HLVI具有特殊結(jié)構(gòu),即使從調(diào)節(jié)器出口抽真空,二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。

即使進(jìn)行抽真空,氣體也不會從入口側(cè)(一次側(cè))流動。

可作為經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)大臣認(rèn)證品生產(chǎn)。在高壓氣體設(shè)備中使用時,請選擇合格品。

也可制作流動方向體、左側(cè)入口(左高壓)型。


日本e-yamato調(diào)節(jié)器高純氣體用調(diào)壓閥分析器 SR-3LL/SR-3.5LL 規(guī)格參數(shù)


SR-3LL

SR-3.5LL

一次側(cè)壓力

(MPa)

0.4~2

0.5~2

二次側(cè)使用壓力

(MPa)

0.1~0.6

0.1~0.6

使用溫度

(攝氏度)

-10~40(股計(jì)溫度:-10~7攝氏度)

1/4

3/8

外部響應(yīng)量(Pam/sec)

螺紋接合:1.01x10-以下焊接合:1.02x10-以下

接氣主

本體

要部材質(zhì)

SUS316

SUS316L

材質(zhì)記號

隔膜

SUS316

諾科脫明

PTFE

是P.476

其他

SUS316.SUS304.PTFE

過濾器粗糙度

200墨西哥(SR-3.5LL的出入口為焊接隧道時,未內(nèi)置過濾器。)

(kg)

1.4

2.3

標(biāo)準(zhǔn)流量

8/mininor)

640(P1=2MPa.Pe=0.6MPa)

1280(Pl=2MPa.P2=0.6MPa)

最大流

2/mininor Ne)

800(P)=2MPa.P2=0.6MPa)

1600(P1=2MPa.Pz=0.6MPa)


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