日本YUTAKA絕壓型真空調節(jié)控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO 特點介紹

L96系列是專為半導體工藝制造氣體設計的具有真空可調結構的產品。非常適合低蒸氣壓氣體。

基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范，使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產品。

功能低壓1MPa以下

焊接規(guī)格金屬墊片管件調節(jié)閥結構針型兼容氣體7種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體有毒氣體

以外的氣體標準流量～60NL/分鐘

日本YUTAKA絕壓型真空調節(jié)控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO 規(guī)格參數

入口壓力 0.99MPa以下 

調節(jié)壓力 -0.1MPa～0～0.2MPa 

承受壓力 22.2MPa（進口側） 

CV值 0.07 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

內部容積 5.739cm（不含3個壓力表及接頭） 

大量的 約1.6公斤 

1/4"面對面密封接頭尺寸

（公母相同）…………………………約94mm

[備注]

■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。

■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀（外螺紋、內螺紋）組合如圖所示?？梢詮囊韵滤镜漠a品型號代碼表中進行選擇。

■ 除UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標準面對面尺寸不同。