日本YUTAKA壓力控制器焊接金屬墊片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 特點介紹

L81系列是一款專為半導體工藝制造氣體設計的產(chǎn)品，具有兩級減壓結構。基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范，使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。

兩級減壓結構不易受氣源壓力波動的影響，提供穩(wěn)定的壓力和流量，非常適合液化氣絕熱膨脹導致溫降較大的氣體。

功能高壓

焊接規(guī)范金屬墊片配件調節(jié)閥結構針型兼容氣體7 種特殊高壓氣體

腐蝕性氣體

有毒氣體以外的氣體 純

氣體設備標準流量～60NL/分鐘

日本YUTAKA壓力控制器焊接金屬墊片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 規(guī)格參數(shù)

調節(jié)壓力 Max.0.99MPa

（范圍規(guī)格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa、0~0.99MPa） 

氣源壓力波動 入口壓力：每0.1MPa，調節(jié)壓力變化量0.000007MPa 

承受壓力 22.2MPa（進口側） 

CV值 0.03 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

內(nèi)部容積 8.9cm（不含3個壓力表及接頭） 

大量的 約2.0公斤 

1/4" 面對面密封接頭尺寸（公母相同）………………………………約 100mm

[備注]

■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。

■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀（外螺紋、內(nèi)螺紋）組合如圖所示?？梢詮囊韵滤镜漠a(chǎn)品型號代碼表中進行選擇。

■ UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標準面對面尺寸不同。