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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本YUTAKA壓力控制設備高壓大流量L61系列

日本YUTAKA壓力控制設備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO

L61系列是針對高壓、大流量半導體工藝生產(chǎn)氣體而設計的產(chǎn)品。調(diào)節(jié)閥的平密封結構保證了小行程下的大流量。

  • 產(chǎn)品型號:L61SS/L61SS-CO
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-10-09
  • 訪  問  量:136
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詳細介紹

日本YUTAKA壓力控制設備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO 特點介紹


L61系列是針對高壓、大流量半導體工藝生產(chǎn)氣體而設計的產(chǎn)品。調(diào)節(jié)閥的平密封結構保證了小行程下的大流量。

功能高壓

焊接規(guī)范金屬墊片配件調(diào)節(jié)閥結構平密封式散裝氣體兼容氣體氣體以外的氣體標準流量100~500NL/分鐘


日本YUTAKA壓力控制設備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO 規(guī)格參數(shù)


調(diào)節(jié)壓力 Max.0.8MPa

(范圍規(guī)格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.8MPa) 

氣源壓力波動 入口壓力:每0.1MPa,調(diào)節(jié)壓力變化量0.0006MPa 

承受壓力 22.2MPa(進口側) 

CV值 0.07 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法) 

內(nèi)部容積 32.3cm(不含3個壓力表及接頭) 

大量的 約4.7公斤 


1/4"面對面密封接頭尺寸

(公母相同)………………………………約126mm

3/8"/1/2"面對面密封接頭尺寸

(公母相同)………………………………約152mm

[備注]

■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。

■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀(外螺紋、內(nèi)螺紋)組合由下式確定。您可以從表中所示的產(chǎn)品編號中進行選擇。

■ 除UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標準面對面尺寸不同。


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