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日本JUSTEM晶圓檢測/測量設(shè)備手動測厚機 STM-06手動手柄和秤允許在固定位置進行測量。
聯(lián)系電話:13823182047
日本JUSTEM晶圓檢測/測量設(shè)備手動測厚機 STM-06 的特點介紹
手動手柄和秤允許在固定位置進行測量。
通過真空吸附將晶圓固定在平臺上。防止測量造成的劃傷。
測量數(shù)據(jù)以 EXCEL 文件形式保存在連接的計算機上。
測量結(jié)果顯示在PC上,方便查看。
還可根據(jù)要求提供地圖顯示等。
日本JUSTEM晶圓檢測/測量設(shè)備手動測厚機 STM-06 的特點介紹
目標工作 | 硅(硅) |
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工作尺寸 | φ4、5、6英寸 |
工作厚度 | 80 至 1,500μm |
設(shè)備類型 | 桌面型 |
安裝環(huán)境 | 1000級 |
設(shè)備尺寸 | 寬426×深548×高323(毫米) |
設(shè)備重量 | 70公斤 |
電源電壓 | 單相100V 50/60Hz 共用 |
真空 | -50KPa |
測量傳感器 | 色差共焦傳感器 |
測量精度 | 重復(fù)10次 標準偏差0.1μm以下 |
測量點 | 任意多點測量 |
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002