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日本IKC手動型波紋管式直導(dǎo)入機超高真空用 ILD-34M/ILD-70M/ILD-114M 直進機是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進的產(chǎn)品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。

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日本tecsam超高真空旋轉(zhuǎn)直線導(dǎo)入機薄膜軸承 RLM25-133/RLM25-275 這是一款可在超高真空條件下使用的旋轉(zhuǎn)直線導(dǎo)入機。 通過旋轉(zhuǎn)手柄的末端，您可以前后移動軸。 真空側(cè)是使用超高真空潤滑劑（Krytox）的薄膜軸承，大氣側(cè)是使用高溫Krytox的軸承。

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